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日期: 2022-08-20 13:05

台積電改裝無塵室外氣空調箱 節電1.49億度
 
• 2022-05-31 11:45
  (中央社記者張建中新竹2022年5月31日電)晶圓代 工廠台積電(2330)致力精進能源使用效率,針對無 塵室中的外氣空調箱洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板 設計,估計節電1.49億度,具體行動落實綠色製造。

台積電表示,傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做 為質量傳遞的媒介,水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將 水細化成特定直徑水顆粒,進氣與水顆粒經過慣性撞 擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物,以維 持無塵室的進氣品質。

因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸,無法增 加霧化水顆粒與空氣接觸時間,洗滌水泵用電量占無 塵室空調氣水輸送用電量20%。

為提高能源使用效率,台積電攜手供應商共同研發 濕膜板,藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水 膜,提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積,使水膜 可吸收更多外氣所含微汙染物,不僅強化洗滌效果, 且水泵馬力變小,可減少80%用電量,達到節能效 益。

台積電表示,截至民國111年5月,共完成既有廠區 266台外氣空調箱濕模板改裝,同時列為新建廠標準 設計,並導入413台新設外氣空調箱,估計節電1.49億 度。

台積電計劃至111年年底既有廠區累計完成316台外 氣空調箱改裝,估計將可增加節電1100萬度,新建廠 區則持續進行新機導入行動,實踐綠色製造承諾,朝 永續共好目標邁進。

   
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